小型離子濺射儀 型號(hào):M31/SD-900

技術(shù)參數(shù)
旋轉(zhuǎn)真空泵轉(zhuǎn)速-------------- 50 Hz: 8m3/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6m*/h (2.6 L/s)
JI限真空度------------------- 2 Pa
濺射電流----------------- ≤0~ 20 mA
工作壓-------------------- 30Pa- 7 Pa
抽真空時(shí)間------------------ <5 Min (2 Pa )

小型離子濺射儀 型號(hào):M31/SD-900

真空測(cè)量-------------------測(cè)量范圍從大氣壓到2x 10的負(fù)2次方 mbar
腔體尺寸-------------------- φ 150 * 120mm (高)抗刮石英玻璃
磁控靶源-----------------.靶尺寸φ50*0.1mm(金) /濺射靶源:金、銀、鉑
操作方---------------------操作手冊(cè)
重量/尺寸------------------. 45kg / 360mm長(zhǎng)x 300mm寬x 380mm高
工作電源.------------------. AC 220V 50Hz
電源功率-------------------- < 1500W
冷卻方式---_----------------風(fēng)冷